在半導體產業中,高精度的熱管理與製程控制是確保產品品質與生產效率的核心關鍵。ATK銓行專注於提供完整的解決方案,涵蓋熱控升級、冷卻系統與表面處理等技術,助力半導體企業優化製程並提升競爭力。我們的服務包括紅外線控溫模組改造、熱風溫控模組改造、水冷式冷卻板及金屬板表面處理等多項創新技術,針對半導體製造過程中的各種需求提供精準的支持。
紅外線控溫模組改造及熱風溫控模組改造,提供非接觸式的高精度加熱,適用於晶圓加熱、塗層固化與膠合等工藝,實現均勻且穩定的熱處理效果。通過熱風循環技術,改善密閉腔體內部熱分佈,減少揮發性材料或昇華物在腔體內的沉積,提升製程穩定性與設備壽命。
為高溫製程後的晶圓提供快速冷卻,避免熱應力損傷,確保產品的一致性與良率。
分區控溫設計滿足不同製程區域的特定溫度需求,提升精度與效率,特別適用於高要求的半導體加工場景。
提供陽極處理與鐵氟龍塗層,增強耐腐蝕與耐磨損性能,為半導體製程設備提供穩定可靠的支撐。
ATK銓行的紅外線控溫模組改造採用非接觸式加熱技術,能快速且均勻地對晶圓和基板進行加熱,適用於塗層固化、膠合與其他熱處理工藝。而熱風溫控模組則專注於改善密閉腔體內的熱分佈,減少昇華物沉積問題,確保製程穩定性與設備壽命。對於高溫製程後的冷卻需求,水冷式冷卻板能以卓越的效率快速降溫,避免晶圓受熱應力影響而產生損壞。
此外,我們提供金屬板表面處理服務,利用陽極處理和鐵氟龍塗層技術,顯著提升製程設備的耐蝕性與耐磨性,延長設備使用壽命。這些技術的應用範圍廣泛,涵蓋晶圓製造、封裝測試、薄膜沉積及揮發性材料處理等領域。
以晶圓製造為例,ATK銓行的精密控溫與冷卻技術能確保生產過程的穩定性,減少缺陷率,並提高良率。在封裝測試階段,我們的解決方案則可針對芯片封裝過程中的溫度需求進行靈活調控,避免因過熱或冷卻不足而導致產品變形或損壞。同時,薄膜沉積及揮發性材料處理工藝中,我們的熱控模組能優化氣流與溫度分佈,提升薄膜均勻性與附著力,並減少污染風險。
憑藉先進的技術與豐富的行業經驗,ATK銓行致力於成為半導體產業高效製程的可靠合作夥伴。我們的模組化設計與靈活部署能力,讓企業能快速導入創新技術,降低生產中斷時間,同時以高效能與節能解決方案,助力實現更高的投資回報。無論是新設備設計還是既有設備的升級與優化,我們都能提供量身定制的方案,助您在競爭激烈的市場中脫穎而出。