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增設熱風溫控模組改造

增設熱風溫控模組改造

增設熱風溫控模組改造是一項針對密閉腔體內熱管理需求的創新解決方案。通過在腔體外增設熱風模組,能有效改善腔體內昇華物的沉積問題,確保設備穩定運行與產品加工品質的提升。此方案廣泛適用於涉及昇華或揮發性物質的製程。

產品規格:

  • 溫度精度: 60~150 ±5℃(內)
  • 熱風流量: 1~2000 L/min
  • 適用基板大小:
    200(W)*200(L)mm~ 3000(W)*3000(L)mm, t=0.2~1.0mm
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產品特點

  • 高效熱風模組

    熱風模組利用高效加熱技術,生成穩定且均勻的熱風流,迅速提高腔體內部溫度,優化氣流循環。熱風流直接作用於腔體內部的昇華物,減少其沉積於內壁或關鍵部件上的可能性。

  • 智能溫控技術

    配備精準溫控系統,可根據腔體內部需求調整熱風溫度與流速,實現精確控制。自動化運行模式確保整個製程穩定,避免因手動調節導致的溫度波動。

  • 模組化設計,易於改造

    熱風模組設計緊湊,可靈活安裝於密閉腔體外,無需對現有結構進行大規模改動。支援多樣化腔體尺寸與型號的改造需求,兼容性高。

  • 昇華物沉積減少

    透過熱風循環,將腔體內的昇華物維持於氣態狀態,減少在腔壁或零件上的沉積,降低清潔與維護頻率。

應用範圍

  • 半導體與電子製造業:

    解決密閉腔體內昇華物沉積問題,提升晶圓加工、薄膜沉積等製程的穩定性。

  • 材料科學與實驗室應用:

    用於揮發性材料處理工藝,確保設備內部潔淨與功能穩定。

  • 化工與製藥行業:

    適用於需要高潔淨環境的製程,例如粉末乾燥或揮發性化學品的反應設備。

  • 真空鍍膜與塗層技術:

    改善鍍膜腔體內的氣流與溫度分佈,減少揮發性物質對產品的影響。

增設熱風溫控模組改造以其高效穩定的性能,解決了密閉腔體內昇華物沉積的關鍵問題,成為精密製造與材料處理工藝的理想升級選擇。通過此技術改造,不僅能提高生產效率,還能減少設備維護成本,助力工藝流程的全面優化!